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裝備製造

裝備製造
GSE 裝備製造技术

GSE技路線:
•核心設備為卷對卷柔性薄膜共蒸發積設備和集成芯片互聯封裝設備(ICI)
自1996年開始,GSE申請了一系列核心專利,專利涉及優化CIGS薄膜結構和成分,採用柔性卷對卷技術制備高性能CIGS薄膜電池的核心裝備及其生産工藝,以及CIGS薄膜太陽能電池及組件整套生産工藝,總計已獲授權專利159項,申請242項。
 
•柔性卷對卷連續鍍膜生産工藝
産線利用卷對卷生産工藝(Roll to Roll)磁控濺射\共蒸發技術在柔性不鏽鋼襯底上生長CIGS太陽電池器件的各功能性膜層。其主要的技術特點為:
各層CIGS電池器件的各功能性膜層在不同的專用設備中完成鍍膜;
根據膜層的特點,分別選用濺射工藝或者是共蒸發工藝來完成鍍膜;
前段部分全部采用卷對卷(Roll to Roll)方式來生産;
前電極採用ITO,各功能膜成沈積完成後,芯片重新卷成卷後包裝,可長期儲存或長途運輸到外地封裝,不影響組件效率;電池單元既可以自己生産BAPV組件,也可以供第三方進行開發,同時芯片可銷售,組件可OEM方式生産。
 
•ICI(Integrated Cell Interconnect)最新封裝技術
採用最新ICI封裝技術,采用圖形化的鍍膜及化學刻蝕的方式制備內部結構更加致密的銅前電極,降低了組件串聯電阻,並通過激光焊接方式完成電池極連,消除了短路問題。從電池到組件的效率損失大幅減小,ICI封裝樣品組件轉換效率達到16%。
 
•一米寬不鏽鋼襯底設備
採用1米寬不鏽鋼襯底設備,襯底長度可達3000米,襯底非常薄,僅30微米;在1米的襯底寬度上提高了良率,因為可以排除更多邊緣區域的影響,同時保留了更高比例的有效材料區域;同時ICI 組件會被加大以符合PowerFLEX®的形狀因子。因此,PowerFLEX® 的轉換效率等同于ICI的子組件效率。
 
共蒸發技術
該種技術在柔性襯底上沈積銅銦鎵硒光電轉換層,其優勢為:
•採用多點分佈式蒸發源 ,提高了沉積膜厚度均勻性
•共蒸工序時間短 (<4min)
•原材料形式易獲得(Cu 、In 、Se顆粒,Ga液態)
•雙XRF監測共蒸發沈積膜厚及成分,偏離目標時自動調節蒸發源進行補償
•原材料利用率高,共蒸室壁的材料可以充分回收利用
•粉塵處理容易(更換護板),蒸發源維護便捷 (6小時維護時間)